一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟，属于光伏技术领域，其包括若干重叠设置的石墨舟舟页，石墨舟舟页上设有固定太阳能硅片的多个卡点，石墨舟舟页上还设有用于真空作用下吸附固定太阳能硅片的孔洞，石墨舟舟页上均匀间隔设有多个承载位，每个承载位边缘设有用于与硅片接触的延展斜面，所述延展斜面沿着所述承载位边缘首尾相连形成矩形框，延展斜面的内侧棱边为弧形边。本实用新型将石墨舟舟页与太阳能硅片的接触面加工为斜面，使石墨舟的承载位与硅片的接触不再是线性接触，从而减小因PECVD设备在抽真空步骤时，引起石墨舟承载位与硅片接触位置的摩擦划伤。
基本信息
专利标题 ：
一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921438754.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN210403679U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
杨东郑应轩史志平陈晓王岚张忠文谢毅
申请人 ：
通威太阳能(眉山)有限公司;通威太阳能(成都)有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
谢建
优先权 ：
CN201921438754.X
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 C23C16/458 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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