一种光刻机的晶圆平边预定位装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机的晶圆平边预定位装置，包括用于承载晶圆的工作平台,所述工作平台上设有第一固定定位轮、至少两个的第二固定定位轮、所述第二固定定位轮用于定位晶圆的平边，所述第一固定定位轮用于定位晶圆的弧形边；所述工作平台底部设有驱动机构、摆杆机构，所述摆杆机构上连接有定位轮动作轮，所述驱动机构用于驱动摆杆机构摆动使定位轮动作轮与定位后晶圆的弧形边接触或分离。本实用新型能够对具有平边的晶圆预定位，且由于本实用新型设有光纤传感器使得定位更为准确。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机的晶圆平边预定位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921579913.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
CN210428090U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
唐阳明
申请人 ：
上海图双精密装备有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区华浦路500号6幢A区1层199室
代理机构 ：
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱明福
优先权 ：
CN201921579913.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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