一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机
授权
摘要
本实用新型揭示了一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机，所述防呆组件包括：基板、控制装置、第一传感器和第二传感器；其中，第一传感器和第二传感器安装于基板上，第一传感器和第二传感器其中之一用于感测安装于基板上的第一类晶舟盒，以及第一传感器和第二传感器配合用于感测安装于基板上的第二类晶舟盒。本实用新型通过传感器和控制装置的配套使用，对晶舟盒与研磨机匹配与否进行判断；当晶舟盒与研磨机匹配错误时，控制装置对研磨机和警报装置发出控制指令，使研磨机停止工作、警报装置发出警示信号，从而避免因人员失误所导致的晶圆研磨破片情况；本实验新型的防呆组件还具有结构简单、使用方便、成本低的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆研磨机的晶舟盒防呆组件及其晶圆研磨机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921797673.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN210272287U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
彭利民
申请人 ：
京隆科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区方洲路183号
代理机构 ：
北京华夏博通专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘俊
优先权 ：
CN201921797673.9
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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