一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，且公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的内部设置有隔板，所述置物槽的内底壁开设有限制槽。该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、万向轮、置物槽、隔板、限制槽、限制杆、抵紧弹簧、滑套、压板和第一把手之间的相互配合，达到了便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的效果，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122403401.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-28
授权号 ：
CN216232432U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
吴灿煌陈圣育殷小罕张福亮王金永
申请人 ：
合肥芯测半导体有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号云海路工业园A栋
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122403401.X
主分类号 ：
B62B3/04
IPC分类号 ：
B62B3/04 B62B5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆，例如手推车或摇篮车；雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车；其所用转向装置；所用设备
B62B3/04
包含将所载物锚定或固紧到适当位置的装置；装卸设备
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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