一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，所述加热筒的外表面固定连接有加强型耐温防腐外壳机构，所述加热筒的内部设置有内筒，所述加热筒的上端设置有盖板，所述盖板的一侧固定连接有温度传感器，所述加热筒的下端外表面固定连接有加热装置，所述加热装置的前端固定连接有手柄与显示屏，所述手柄位于显示屏的两侧。本实用新型所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，设有加强型耐温防腐外壳机构与隐藏式工具存放槽机构，能够加强筒壁的强度，耐温防腐效果优异，外壁散热效果好，防止人们误碰导致烫伤，还可以便于存放一些检修用的工具，为隐藏式，节省空间，提高工作效率，带来更好的使用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921890959.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-05
授权号 ：
CN210736877U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
海玉龙郭红波周杰
申请人 ：
苏州赛睿达纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦佳胜路3号、4号厂房四层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921890959.1
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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