本实用新型提供了一种制备多晶碳化硅的化学气相沉积装置，属于化学气相沉积技术领域。本实用新型装置包括依次连接的供气装置、真空气相沉积炉、真空泵和尾气处理装置，真空气相沉积炉包括沉积腔室和加热源，沉积腔室被设有孔洞的隔板分隔为化学气相沉积室和收尘室，通过将化学气相沉积室的进气口和收尘室的出气口均设在孔洞的上方，使气流以Z字形方式在腔室内流动，延长其在腔室中的行走路径和停留时间，增加甲基三氯硅烷的分解度，提高成品率，同时减少甲基三氯硅烷进入后端出气管道；再通过收尘室与真空泵之间设置过滤器，收尘室与过滤器之间的管道设有能通冷却液的夹层，以降低甲基三氯硅烷在该管道处的分解以及粉尘的堆积，保证生产顺利。