喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置
授权
摘要
本实用新型提供一种喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置，其包括：容纳槽，用于放置显影喷嘴装置；吹扫装置，包括气源、至少一出气口及连接所述气源与所述出气口的输气管路，所述出气口设置在所述容纳槽中，吹扫气体自所述气源沿所述输气管路传输，并自所述出气口吹出，所述吹扫气体能够作用于所述显影喷嘴装置的外表面，以将所述显影喷嘴装置外表面或喷嘴处的液滴去除。本实用新型的优点在于，喷嘴清扫装置能够去除显影喷嘴装置外表面及喷嘴尖端的残留液滴，避免该液滴显影喷嘴装置移动过程中滴落而影响晶圆的性能。
基本信息
专利标题 ：
喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921985953.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN210835586U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
曾俊华许维政
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201921985953.2
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30 H01L21/687
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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