一种防止晶圆反吸和斜插的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种防止晶圆反吸和斜插的装置，包括：背板、固定件、指示灯、轨道横条；所述轨道横条为两条，且相互平行设置，所述轨道横条垂直设置在背板底部的一侧，所述轨道横条上还设有指示灯，所述指示灯分别沿两条所述轨道横条远离背板方向阵列排列；所述固定件为两个且连接于所述背板上，且所述固定件与所述轨道横条同侧，用于固定晶舟的两侧壁，晶舟固定在装置上时指示灯正对晶舟的晶舟卡槽位置，单个晶舟卡槽对应的指示灯颜色相同。装置各处宽度、高度都略大于晶舟尺寸，从而避免了晶舟和装置之间应力的产生，也方便放置晶舟。同时通过固定U‑bar朝向，避免了U‑bar和H‑bar放反导致吸到晶圆正面，使晶圆划伤。
基本信息
专利标题 ：
一种防止晶圆反吸和斜插的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922062866.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN210668293U
授权日 ：
2020-06-02
发明人 ：
黄光伟李立中吴淑芳陈智广马跃辉庄永淳吴靖林伟铭
申请人 ：
福建省福联集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐剑兵
优先权 ：
CN201922062866.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-06-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
