一种用于碳化硅晶片加工的可智能辨识载片盘
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型涉及一种用于碳化硅晶片加工的可智能辨识载片盘，包括板状载片盘主体和可智能识别装置，可智能识别装置设置于板状载片盘主体的载片面的中心位置。本实用新型的用于碳化硅晶片加工的可智能辨识载片盘，能够高效地对每一盘的晶片进行自动分类，提高碳化硅晶片加工生产的自动化程度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅晶片加工的可智能辨识载片盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922088606.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN211700219U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
徐良曹力力蓝文安刘建哲余雅俊夏建白李京波郭炜叶继春
申请人 ：
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市南二环西路2688号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
佟林松
优先权 ：
CN201922088606.6
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 G06K7/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-22 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/673
登记生效日 : 20220412
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
变更后权利人 : 浙江富芯微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 321000 浙江省金华市南二环西路2688号
变更后权利人 : 321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号3#厂房（自主申报）
登记生效日 : 20220412
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
变更后权利人 : 浙江富芯微电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 321000 浙江省金华市南二环西路2688号
变更后权利人 : 321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号3#厂房（自主申报）
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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