安装结构及用于显微光刻的特殊照明系统
授权
摘要

本实用新型提供了安装结构及用于显微光刻的特殊照明系统,属于显微光刻照明技术领域。该安装结构包括支撑板、灯罩组件和冷却组件。所述灯罩组件包括灯罩,两个所述灯罩顶部均固定连接于所述支撑板下表面,所述冷却组件包括冷却水箱、循环泵和散热循环管,所述循环泵对称安装于所述冷却水箱底部两侧,所述循环泵的进水口连通于所述冷却水箱,所述循环泵的出水口和所述散热循环管一端连通,所述散热循环管卷绕于所述灯罩周侧,所述散热循环管另一端延伸并连通于所述冷却水箱顶部一侧。本实用新型当灯罩内的照明设备使用时,循环泵工作,通过散热循环管不断的将灯罩的热量进行散发冷却,提高了照明设备的使用寿命。

基本信息
专利标题 :
安装结构及用于显微光刻的特殊照明系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922236112.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211086917U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
华平壤姜城
申请人 :
天津通软信息技术有限公司
申请人地址 :
天津市滨海新区经济技术开发区洞庭路131号德福斯新天地科技大厦A505
代理机构 :
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 :
蔡岩岩
优先权 :
CN201922236112.8
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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