晶圆寻心偏移监测装置

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摘要

本实用新型涉及半导体领域，提供晶圆寻心偏移监测装置。晶圆寻心偏移监测装置包括晶圆运送机械手、安装在所述晶圆运送机械手上的由多个寻心传感器组成的寻心传感器组和分设于所述寻心传感器组外两侧的偏移监测传感器，所述寻心传感器包括光接收部和反光部，所述反光部用于将光反射给所述光接收部，所述反光部位于晶圆所在区域的内侧，所述偏移监测传感器位于所述晶圆所在区域的外侧。本实用新型能够有效的避免晶圆滑移掉落，确保晶圆产品的质量及成品率。

基本信息

专利标题：

晶圆寻心偏移监测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922236905.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN210668300U

授权日：

2020-06-02

发明人：

郝瀚卢俊男梁明亮

申请人：

北京京仪自动化装备技术有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座3层

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

谭云

优先权：

CN201922236905.X

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67