一种天线集成场效应晶体管的太赫兹探测器

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摘要

本实用新型涉及一种天线集成场效应晶体管的太赫兹探测器，属于太赫兹探测技术领域。包括天线，所述天线与场效应晶体管集成设置，所述天线的三个端口分别作为场效应晶体管的三个电极：源电极、栅电极和漏电极，所述三个端口与三个电极结构吻合；所述天线的三个端口分别与衬底电性连接。所述天线的三个端口分别引出源极引线电极、栅极引线电极和漏极引线电极，分别与天线的三个端口对应一体成型。本申请中将太赫兹天线与场效应晶体管集成设计，直接利用天线的三端作为场效应晶体管的三极，节约了生产成本。在天线的三端分别引出引线电极，实现对太赫兹波的有效收集，增强场效应晶体管与太赫兹波的有效耦合，提高了器件的探测性能。

基本信息

专利标题：

一种天线集成场效应晶体管的太赫兹探测器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922300681.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-19

授权号：

CN211205522U

授权日：

2020-08-07

发明人：

张凯沈文董卓沈兴华

申请人：

江苏盖姆纳米材料科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市临港新城区镇澄路3433号

代理机构：

江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙燕波

优先权：

CN201922300681.4

主分类号：

G01J1/42

IPC分类号：

G01J1/42 G01J1/44 H01L23/66 H01L29/78