一种MEMS麦克风芯片
授权
摘要
本实用新型提供一种MEMS麦克风芯片，包括基材底以及振膜，所述基材底上端边缘位置固定连接第一绝缘板，所述第一绝缘板上端固定连接第二绝缘板，所述第二绝缘板上端固定连接绝缘背极板，所述绝缘背极板内部包裹导体背极板，所述绝缘背极板与基材底之间连接振膜，所述绝缘背极板与基材底之间固定连接至少四个竖向布置的限位柱，至少四个所述限位柱均贯穿振膜。本实用新型提供的MEMS麦克风芯片具有由于导体背极板与振膜在有效振动区产生有效电容，而绝缘背极板与振膜之间不产生电容，从而降低了寄生电容，提高了工作灵敏度，另外限位柱有效阻止振膜横向摆动，提高了使用寿命，并使振膜的振动更准确，提高了芯片的声音效果。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS麦克风芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922301021.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN210927975U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
陈祖云
申请人 ：
南京隆汇电声自动化有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区淳化街道索墅工业园
代理机构 ：
新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何国强
优先权 ：
CN201922301021.8
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R31/00
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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