一种MEMS麦克风芯片
授权
摘要
本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，MEMS麦克风芯片包括基底、第一膜层以及第二膜层，所述MEMS麦克风芯片还包括支撑所述第一膜层的支撑壁，所述支撑壁的波纹结构包括具有第一开口的凹陷部和具有第二开口的凸起部，所述第一开口和所述第二开口的朝向相反，所述凹陷部包括第一弯曲部以及自所述第一弯曲部的两端分别延伸并围设形成所述第一开口的第一连接部，所述凸起部包括第二弯曲部以及自所述第二弯曲部的两端分别延伸并围设形成所述第二开口的第二连接部，所述第一连接部的端部与相邻的所述第二连接部的端部连接形成所述波纹结构。本实用新型可有效减小背板与支撑壁连接处断裂的风险，防止MEMS麦克风芯片失效。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS麦克风芯片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122293158.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-22
授权号 ：
CN216600076U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
沈宇石正雨王琳琳张睿
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122293158.0
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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