本实用新型提供了一种紫外光刻曝光机基板清洁装置，属于紫外曝光机技术领域。调节机构固定在支架的顶面，转动机构包括伺服电机、第二固定板、第二螺纹杆和第三螺纹杆，伺服电机安装在调节机构的顶面，第二固定板固定在伺服电机的输出轴的端部，第二固定板的顶面对称开设有两个第二滑槽，第二螺纹杆和第三螺纹杆分别转动连接在第二滑槽的内部，第二螺纹杆和第三螺纹杆固定连接，第二螺纹杆和第三螺纹杆的外表面分别螺接有夹紧块，第二固定板的内部开设有第二空腔，第二空腔的底部开设有通孔，第二固定板的底部安装有毛刷，第二空腔的顶面连通有连接管。本实用新型通过转动方式对紫外光刻曝光机基板进行清洗，提高了清洗的效率。