一种MEMS芯片及包括其的MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型公开一种MEMS芯片及包括其的MEMS麦克风，所述芯片包括有具有背腔的衬底层，在所述衬底层上设置有由振膜层、第一绝缘层、背极层构成的平板电容器结构；所述振膜层上形成有泄压孔和覆盖所述泄压孔的过滤网。本实用新型提供的MEMS芯片，可确保泄压孔的泄压能力的同时，避免微尘粒子因吹气进入到MEMS芯片内而造成芯片性能受损，提高MEMS芯片的可靠性；再者，过滤网可有效缓冲进入至振膜层中的高压气流，防止高压气流对振膜层造成的损害；而且泄压孔和过滤网的制备工艺简单，易于实现；另外，通过设置覆盖泄压孔的过滤网还可将过滤网对麦克风的信噪比(SNR)的影响降到最低。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS芯片及包括其的MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922406087.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211792035U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
周宗燐
申请人 ：
歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路396号103室
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
王喆
优先权 ：
CN201922406087.3
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00 H04R19/04
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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