一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置
授权
摘要
本实用新型提供一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置，所述处理装置包括外壳组件和电极组件，所述电极组件设置于外壳组件内；其中，所述外壳组件用于获得等离子体处理的真空环境；所述电极组件用于制造等离子体，以实现等离子体处理；所述电极组件包括侧板、电极接头、电极板和转盘模组，电极板通过电极接头可拆卸的连接于外壳组件上，所述转盘模组设置于外壳组件内的底部。本实用新型在腔体内同时设置了两套等离子体处理装置，并通过电极接头方便电极板的拆卸和安装，进而实现了平板等离子处理和转盘等离子处理两种模式的转换。
基本信息
专利标题 ：
一种实现平板和转盘处理的等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922461980.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211182150U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
沈文凯刘鑫培王红卫
申请人 ：
苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区泰山路2号（博济科技园内）
代理机构 ：
北京润川律师事务所
代理人 ：
张超
优先权 ：
CN201922461980.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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