一种小型化卷材等离子体处理装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种小型化卷材等离子体处理装置，包括真空腔、放料组件、收料组件、电极板、驱动组件；所述真空腔包括腔体、前盖板、后盖板，所述前盖板一侧与所述腔体通过铰链固定连接，另一侧通过把手组件与所述腔体固定连接；所述真空腔内设置有机架，所述放料组件、收料组件、电极板均设置在所述机架上；本实用新型解决了现有技术中等离子体处理设备主要是针对片材进行处理，等离子体均匀性差，处理效率低的缺陷，本实用新型能够实现对卷材进行等离子体处理，等离子体处理的均匀性好，等离子体处理效果佳，处理效率高，从而提高产品的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种小型化卷材等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922461991.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211182151U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
沈文凯刘鑫培王红卫
申请人 ：
苏州市奥普斯等离子体科技有限公司;苏州德睿源等离子体研究院有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区泰山路2号（博济科技园内）
代理机构 ：
北京润川律师事务所
代理人 ：
张超
优先权 ：
CN201922461991.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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