冷凝器及半导体制程机台
实质审查的生效
摘要
本公开是关于一种冷凝器及半导体制程机台，涉及集成电路技术领域。该冷凝器包括：密封腔体；其中，所述密封腔体的内部设置有气流通道；所述气流通道的周围填充有冷却液；所述密封腔体上设置有进气口、出气口和排液口，所述进气口与所述气流通道的入口连通，所述出气口与所述气流通道的出口连通，所述排液口与所述气流通道连通；所述气流通道为特斯拉阀结构通道。本公开可以提高气体与冷却液的接触面积，提高冷凝器的冷凝效果。
基本信息
专利标题 ：
冷凝器及半导体制程机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114322590A
申请号 ：
CN202011062187.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李天龙
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
王辉
优先权 ：
CN202011062187.X
主分类号 ：
F28B1/02
IPC分类号 ：
F28B1/02 F28B9/10 F28B11/00 F25B21/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F28
一般热交换
F28B
蒸汽或其他蒸气冷凝器
F28B
蒸汽或其他蒸气冷凝器
F28B1/00
用壁使蒸汽或其他蒸气与冷却介质在其内分开的冷凝器，例如表面式冷凝器
F28B1/02
应用水或其他液体作为冷却介质的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F28B 1/02
申请日 : 20200930
申请日 : 20200930
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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