晶圆用承载环的安装夹具
实质审查的生效
摘要

本公开涉及半导体技术领域,尤其涉及一种晶圆用承载环的安装夹具。该承载环包括圆环部、螺纹件和多个固定座,其中:圆环部包括环体和多个设有光孔的凸耳;固定座设有螺纹孔,螺纹件穿过光孔后能够与螺纹孔螺纹连接。该安装夹具包括第一夹体和第二夹体,其中:第一夹体具有第一圆孔部和第一槽部;第一圆孔部的直径大于或等于环体的外直径;第一槽部从第一圆孔部的内壁向第一夹体的外侧延伸;在环体位于第一圆孔部时,第一槽部能够卡紧凸耳;第二夹体具有贯穿第二夹体的第二槽部;在第一槽部卡紧凸耳时,固定座能够穿入第二槽部,螺纹孔和光孔的中轴线重合,且固定座能够从第一槽部穿出。该安装夹具能够减少承载环的组装时间。

基本信息
专利标题 :
晶圆用承载环的安装夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114378751A
申请号 :
CN202011125860.X
公开(公告)日 :
2022-04-22
申请日 :
2020-10-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
夏智
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
王辉
优先权 :
CN202011125860.X
主分类号 :
B25B11/02
IPC分类号 :
B25B11/02  H01L21/687  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置,例如,磁性工件夹持装置、真空夹持装置
B25B11/02
装配夹具
法律状态
2022-05-10 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25B 11/02
申请日 : 20201020
2022-04-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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