一种半导体器件及其加工方法、晶圆的处理方法
实质审查的生效
摘要

本公开具体提供了一种半导体器件及其加工方法、晶圆的处理方法,该半导体器件包括晶圆。晶圆具有正面、背面及侧面,正面和背面分别处于晶圆的两侧。晶圆的侧面具有弧形延展部和竖直延展部,弧形延展部自晶圆的正面延伸出,竖直延展部同时垂直于晶圆的正面和晶圆的背面。该加工方法包括:执行晶圆处理工艺后,对晶圆边缘进行研磨处理,以形成弧形延展部和竖直延展部,对晶圆背面进行研磨处理,以使晶圆的厚度减小至裸片的厚度。基于对晶圆边缘的研磨处理,本公开能够有效降低甚至避免晶圆边缘破损问题发生的可能性,从而有效地保护了待进行封装的晶圆。因此,本公开能够极大地提高半导体器件的良率,从而明显降低了半导体器件的生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种半导体器件及其加工方法、晶圆的处理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114429897A
申请号 :
CN202011181876.2
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
尹炅一吴容哲高建峰张月刘卫兵
申请人 :
中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司
申请人地址 :
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
刘广达
优先权 :
CN202011181876.2
主分类号 :
H01L21/02
IPC分类号 :
H01L21/02  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02
半导体器件或其部件的制造或处理
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/02
申请日 : 20201029
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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