传感器封装结构及方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种传感器封装结构及方法,其中,传感器封装结构包括:CMOS电路基板,包括CMOS电路及第一电性连接端;检测结构,包括功能单元及电性引出端;第一围堰,位于CMOS电路和检测结构之间,CMOS电路、第一围堰和检测结构围成第一空腔,第一空腔至少包围部分功能单元;电连接结构,设置于CMOS电路的第一围堰暴露的区域,且将电性引出端与第一电性连接端相连。本发明通过将CMOS电路与检测结构键合,以实现集成封装,以大大缩减封装体积,提高集成度;另外,第一围堰和电连接结构分开设置,电连接结构不必依赖第一围堰形成,在工艺和时间上都比较灵活,降低了CMOS电路在形成空腔和电连接工艺条件的限制,扩大了工艺窗口,并缩短了工艺制程时间。
基本信息
专利标题 :
传感器封装结构及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114436203A
申请号 :
CN202011210950.9
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈达刘孟彬
申请人 :
中芯集成电路(宁波)有限公司
申请人地址 :
浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢
代理机构 :
北京思创大成知识产权代理有限公司
代理人 :
刘亭
优先权 :
CN202011210950.9
主分类号 :
B81B7/00
IPC分类号 :
B81B7/00 B81B7/02 B81C1/00 H01L35/02 H01L35/34 H03H9/46
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统,例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 7/00
申请日 : 20201103
申请日 : 20201103
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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