集成电路装置及其形成方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种集成电路装置及其形成方法。所述集成电路装置的形成方法包括如下步骤:提供包括第一区域和第二区域的衬底,所述衬底内部具有第一插塞和第二插塞;形成覆盖所述衬底的第一覆盖层;于所述第一区域形成暴露所述第一插塞的第一开口;于所述第一开口内形成第一导电层;形成覆盖所述第一导电层和所述衬底的隔离层;于所述第一区域形成暴露所述第一导电层的接触孔和与所述接触孔连通的沟槽、并于所述第二区域形成暴露所述第二插塞的第二开口;于所述接触孔内形成导电连接层、于所述沟槽内形成第二导电层、并于所述第二开口内形成熔丝。本发明简化了熔丝的结构,使得仅需要较低的能量就可以熔断熔丝,而且简化了制造流程。

基本信息
专利标题 :
集成电路装置及其形成方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114446868A
申请号 :
CN202011221558.4
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2020-11-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王蒙蒙黄信斌
申请人 :
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 :
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙佳胤
优先权 :
CN202011221558.4
主分类号 :
H01L21/768
IPC分类号 :
H01L21/768  H01L23/525  H01L23/528  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/71
限定在组H01L21/70中的器件的特殊部件的制造
H01L21/768
利用互连在器件中的分离元件间传输电流
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/768
申请日 : 20201105
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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