集成电路、存储器电路、用于形成集成电路的方法以及用于形成...
实质审查的生效
摘要
本申请案涉及集成电路、存储器电路、用于形成集成电路的方法以及用于形成存储器电路的方法。一种用于形成集成电路系统的方法包括在衬底上方形成导电材料。将所述导电材料图案化成水平地纵向拉长的导电线。使所述导电材料竖直凹入于所述导电线的纵向间隔开的第一区中以形成分别处于个别纵向间隔开的第二区中的纵向间隔开的导电柱,所述纵向间隔开的第二区沿着所述导电线与所述纵向间隔开的第一区纵向交替。所述导电柱相对于所述导电线的所述纵向间隔开并且竖直凹入的第一区中的所述导电材料而竖直突出。在所述导电柱正上方形成电子组件。所述个别电子组件直接电耦合到所述个别导电柱。公开了额外方法,包含独立于方法的结构。
基本信息
专利标题 :
集成电路、存储器电路、用于形成集成电路的方法以及用于形成存储器电路的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114334835A
申请号 :
CN202110629317.1
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-06-04
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
V·奈尔S·博尔萨里R·L·迈耶R·A·本森李宜芳
申请人 :
美光科技公司
申请人地址 :
美国爱达荷州
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
王艳娇
优先权 :
CN202110629317.1
主分类号 :
H01L21/8242
IPC分类号 :
H01L21/8242 H01L27/108
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
H01L21/78
把衬底连续地分成多个独立的器件
H01L21/82
制造器件,例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822
衬底是采用硅工艺的半导体的
H01L21/8232
场效应工艺
H01L21/8234
MIS工艺
H01L21/8239
存储器结构
H01L21/8242
动态随机存取存储结构
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/8242
申请日 : 20210604
申请日 : 20210604
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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