一种基板上通孔或凹陷蚀刻的蚀刻液及其制备方法和用途

授权

摘要

本发明涉及一种基板上通孔或凹陷蚀刻的蚀刻液及其制备方法和用途，所述蚀刻液包括碱、醇和溶剂水；所述蚀刻液中的碱以质量百分含量计为20‑50％；所述蚀刻液中的醇以体积分数计为5‑20％。本发明提供的蚀刻液通过引入特定的醇组分，实现了对基板的特定区域的高效蚀刻，避免了氢氟酸系蚀刻液带来的过度蚀刻问题。醇的引入降低了蚀刻溶液的表面张力，使蚀刻溶液更容易渗透进玻璃表面的微结构，加速蚀刻，进一步地，醇的加入可以促进蚀刻溶液和基板间的物质交换，加速蚀刻反应。

基本信息

专利标题：

一种基板上通孔或凹陷蚀刻的蚀刻液及其制备方法和用途

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112375570A

申请号：

CN202011240814.4

公开（公告）日：

2021-02-19

申请日：

2020-11-09

授权号：

CN112375570B

授权日：

2022-04-22

发明人：

张轶鸣

申请人：

泰极微技术（无锡）有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市锡山区锡港路东北塘东段22号7楼705-15

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

巩克栋

优先权：

CN202011240814.4

主分类号：

C09K13/02

IPC分类号：

C09K13/02 H01L21/306 C03C15/00

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C09

染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用

C09K

不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用

C09K13/00

蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物

C09K13/02

含一种碱金属的氢氧化物

法律状态

2022-04-22 ：

授权

2022-04-19 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移IPC(主分类) : C09K 13/02
登记生效日 : 20220407
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 泰极微技术（无锡）有限公司
变更后权利人 : 泰极微技术（苏州）有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 214000 江苏省无锡市锡山区锡港路东北塘东段22号7楼705-15
变更后权利人 : 215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假区（太湖新城）夏蓉街399号稻谷互联网产业园1号楼1604-A室

2021-03-09 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : C09K 13/02
申请日 : 20201109

2021-02-19 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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