一种等离子体处理装置及其调节方法
公开
摘要
本发明公开了一种等离子体处理装置及其调节方法，该装置包含：真空反应腔，其由反应腔腔体和腔体端盖包围而成；可移动上电极组件，设置在真空反应腔内；下电极组件，与可移动上电极组件相对设置，所述下电极组件与所述反应腔腔体底部可拆卸连接；若干个自对准装置，所述自对准装置包含自对准上结构和自对准下结构，其分别与所述可移动上电极组件和所述下电极组件连接，所述自对准上结构和所述自对准下结构对齐拼合时所述可移动上电极组件和所述下电极组件中心对齐。其优点是：该装置通过自对准上结构和自对准下结构协同配合，实现了可移动上电极组件和下电极组件的同心度调节，所述自对准装置结构简单，操作方便，减轻了工作人员的调试压力。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子体处理装置及其调节方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582691A
申请号 ：
CN202011295090.3
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王明明黄允文吴狄杨金全
申请人 ：
中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐雯琼
优先权 ：
CN202011295090.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
