一种声波震动半导体晶圆片清洗设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种声波震动半导体晶圆片清洗设备，涉及到半导体晶圆片表面清洗技术领域。包括外壳，所述外壳的内部的底端设置有超声波发生器，所述超声波发生器的一侧设置有频率控制器，所述超声波发生器远离所述频率控制器的一侧设置有电机，所述电机输出轴的端部设置有风扇，所述支撑板一的顶端设置有清洗槽。有益效果：利用超声波发生器产生超声波，再将超声波产生的震动由清洗液产生细小的气泡，细小的气泡附着在晶圆片的表面，利用震动产生的微小气泡将晶圆片表面的污物颗粒带走，使晶圆片表面更加清洁。
基本信息
专利标题 ：
一种声波震动半导体晶圆片清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020003246.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-02
授权号 ：
CN212681872U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
刘卫科
申请人 ：
浙江明哲电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省温州市乐清市城东产业功能区永兴一路12号（乐清市华宝摩配有限公司内）
代理机构 ：
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
晋圣智
优先权 ：
CN202020003246.5
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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