一种用于集成电路测试的表面扫描装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于集成电路测试的表面扫描装置，包括工作台，所述工作台顶部的靠中心位置固定安装有放置板，所述放置板的顶部设置有被测试设备本体，所述被测试设备本体的底部与放置板的顶部接触，所述工作台顶部的靠两侧位置均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶部固定连接有顶板。该用于集成电路测试的表面扫描装置，通过活动板、扫描支架、横板、旋转轴、探头安装块和探头的设计，使得该装置采用机械定位的方式，拥有高精度的定位系统，保证定位的准确和稳定，使用的定位系统为传统笛卡尔坐标系，机械定位方式，并添加旋转轴，实现四轴定位，精度达到万分之一米级别，磁场探头和电场探头设计结构不同，提高了采样精度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于集成电路测试的表面扫描装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020107121.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN211698032U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
郑益民王逸晨方旭
申请人 ：
浙江诺益科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区长河街道滨安路650号1幢十四层1409室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020107121.7
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00 G01R31/28 G01R29/14 G01R33/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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