芯片测试装置和系统

授权

摘要

本申请公开了一种芯片测试装置和系统。该芯片测试装置包括：两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；两个探针机构和两个耦合机构均对称设置在载物台的两侧；探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测待测芯片的电极探针；电极探针连接在探针支架的第一端，探针支架的第二端连接在多自由度驱动座上；耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对待测芯片传输光信号的光纤，光纤夹持在光纤夹具上端，光纤夹具连接在多自由度驱动座上；以使多自由度驱动座驱动光纤夹具或电极探针以多自由度移动，并使光纤或电极探针接触或远离待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行检测的技术问题。

基本信息

专利标题：

芯片测试装置和系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020178180.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-17

授权号：

CN211826357U

授权日：

2020-10-30

发明人：

巫海苍周颖聪宋一品梁寒潇

申请人：

苏州极刻光核科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城西北区5幢102室

代理机构：

北京卓唐知识产权代理有限公司

代理人：

崔金

优先权：

CN202020178180.3

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28 G01R1/04 G01R1/073