一种半导体生产单晶炉

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摘要

本实用新型公开了一种半导体生产单晶炉，涉及单晶炉技术领域，为解决现有的单晶炉保温性能不够完善，使用起来不够方便的问题。所述单晶炉壳体的下方安装有安装架，所述单晶炉壳体下端的一侧设置有排气口，所述排气口的前端安装有调节阀，所述单晶炉壳体下端的中间位置处安装有电机，所述单晶炉壳体前端的上端安装有可视玻璃窗，所述单晶炉壳体的上端安装有法兰密封下连接盖，所述法兰密封下连接盖的上端安装有法兰密封上连接盖，所述法兰密封上连接盖上方的一侧设置有真空抽气口。

基本信息

专利标题：

一种半导体生产单晶炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020274688.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-09

授权号：

CN211814712U

授权日：

2020-10-30

发明人：

梁尚红

申请人：

无锡同茂电子科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市锡山经济技术开发区芙蓉中三路99号瑞云4座309

代理机构：

南京禾易知识产权代理有限公司

代理人：

师自春

优先权：

CN202020274688.3

主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/00