一种蒸镀机构
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摘要

本实用新型公布一种蒸镀机构,包括加料室、蒸发室和镀膜腔;所述加料室包括加热装置、加料室通道、容器、电子枪,所述加热装置用于加热蒸镀材料形成蒸汽,所述容器设置在加料室通道内,所述容器用于容置蒸镀材料,所述电子枪设置在所述容器处并与加料室通道连接,用于轰击出电荷到蒸镀材料的蒸汽上,所述加料室通过加料室通道连通所述蒸发室的蒸发口,蒸发口的开口方向朝向所述镀膜腔,用于使蒸镀材料的蒸汽向下沉积到镀膜腔上;所述镀膜腔设置在所述蒸发室处,所述镀膜腔包括载台和电极板,所述电极板水平地设置在所述载台上,所述电极板用于吸引带电荷蒸镀材料的蒸汽。上述技术方案提高蒸镀过程中蒸镀材料的均匀性,提高蒸镀机构的生产率。

基本信息
专利标题 :
一种蒸镀机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020783969.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-13
授权号 :
CN212476866U
授权日 :
2021-02-05
发明人 :
张麒麟黄逸臻林志斌
申请人 :
福建华佳彩有限公司
申请人地址 :
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 :
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
林祥翔
优先权 :
CN202020783969.1
主分类号 :
C23C14/30
IPC分类号 :
C23C14/30  C23C14/04  C23C14/50  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2021-02-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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