本实用新型公开了一种高效率高精度的大尺寸等离子蚀刻机，主要包括外框、真空泵、密封门、配气框、负极板、正极板和细孔板，所述外框内侧左部设置有密封槽，所述外框前侧转动安装有与密封槽配合的密封门，密封门中部贯穿固定安装有透视窗，所述外框位于密封槽内部固定安装有等距排列的隔板，所述外框内侧左部位于密封槽内部固定安装有交替排列的负极板和正极板，所述外框内侧左部位于负极板和正极板之间固定安装有配气框。本实用新型在结构上设计合理，内部抽真空、充气平衡结构简单稳定，撑条顶端为楔形，线性接触，降低接触面积，避免黏连，同时滤芯对进气过滤且可以快捷更换，三腔同步工作，效率高。