一种用于半导体芯片电镀的固定工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于半导体芯片电镀的固定工装,包括托板,所述托板内开设有通口,所述通口内两侧对称设置有两组夹持组件,两组所述夹持组件包括第一夹板、第二夹板和螺纹杆,所述托板与通口之间开设有螺纹孔,所述螺纹杆转动安装于螺纹孔内,所述托板两侧对称安装有四组支撑组件,所述支撑组件包括固定块、固定座和套杆,所述固定块对称固定安装于托板两侧,所述固定块远离托板一侧通过第二弹簧与固定座固定连接,通过可以调整的支撑组件,能够适用于各种尺寸大小的电镀池,提升了电镀板的使用率,通过夹持组件,能够对芯片进行分层固定,在电镀过程中,不会发生位移,造成干涉,提高了芯片的电镀效果。
基本信息
专利标题 :
一种用于半导体芯片电镀的固定工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021083061.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-12
授权号 :
CN212505115U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
邱敏雄李盛伟李蓝屏王元锋王元钊
申请人 :
深圳中宝新材科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区71区新政厂房A栋202
代理机构 :
深圳市精英专利事务所
代理人 :
冯筠
优先权 :
CN202021083061.6
主分类号 :
C25D7/12
IPC分类号 :
C25D7/12 C25D17/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D7/00
以施镀制品为特征的电镀
C25D7/12
半导体
法律状态
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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