本实用新型公开了一种用于高基频谐振器晶片的治具，包括从上到下依次设置的上掩膜片、定位片和下掩膜片；上掩膜片和下掩膜片上的每个电极槽上设有一个凸形层，下掩膜片上的电极位于凸形层的内部，凸形层嵌入到与定位槽中；定位槽远离电极的两角为圆弧形，该实用新型中：上掩膜片和下掩膜片上的每个电极槽上设有一个凸形层，在生产排片过程，通过下掩膜片、上掩膜片的凸形层可以有效的将高基频晶片固定在定位槽内，采用此种设计就可以增加定位片的厚度，也避免了晶片跑片的风险，完全可满足高基频晶片批量生产需求；定位槽远离电极的两角为圆弧形，解决由于晶片太薄，在自动装片作业时容易引起晶片角落破损的问题。