一种用于蒸镀设备的基板承载装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种用于蒸镀设备的基板承载装置,涉及蒸镀技术领域。本实用新型包括一组滑移架,滑移架内固定有双向丝杆机构,两滑移架之间的两端均传动连接有拉持组件,拉持组件一侧设有夹持组件,夹持组件包括L形板,L形板顶部并排固定有若干横板。本实用新型通过设置一组夹持组件能够夹持基板本体和掩膜板的两侧,通过滑移架、双向丝杆机构和拉持组件的配合能够调节两个夹持组件之间的距离,从而能够拉紧基板本体和掩膜板,同时在拉持组件和夹持组件之间设置直杆、弹簧、垫环和滑动套,能够保证两个拉持组件之间的拉持力,解决了现有的承载结构不利于基板和掩膜板平整固定的问题。
基本信息
专利标题 :
一种用于蒸镀设备的基板承载装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021334014.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-09
授权号 :
CN213113482U
授权日 :
2021-05-04
发明人 :
张志宏卞徐龙卞小通卞荣伟
申请人 :
江苏三房巷薄膜有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号
代理机构 :
江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙燕波
优先权 :
CN202021334014.4
主分类号 :
C23C14/50
IPC分类号 :
C23C14/50 C23C14/04 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2022-06-10 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/50
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏三房巷薄膜有限公司
变更后 : 江苏三房巷薄膜股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号
变更后 : 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏三房巷薄膜有限公司
变更后 : 江苏三房巷薄膜股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号
变更后 : 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇海伦路18号
2021-05-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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