一种用于电镀设备的晶圆夹具
授权
摘要

本实用新型涉及晶圆加工技术领域,且公开了一种用于电镀设备的晶圆夹具,包括固定座,所述固定座的顶部固定连接有外壳,所述外壳的内侧固定连接有保护管,所述保护管的内侧固定连接有活动套管,所述保护管的左侧固定连接有环形架,所述环形架的左侧固定连接有固定架,所述固定架的左侧插接有定位杆,所述固定架的内部螺纹连接有活动杆。该用于电镀设备的晶圆夹具,通过握住握柄并进行旋转,连轴杆会在活动套管的内部移动,并推动压板,使压板和挡块之间的相互作用力对晶圆进行固定,然后利用定位杆对环形架进行固定,从而使固定架对活动杆进行固定,方便夹具调节的同时增加了固定强度,避免出现松动。

基本信息
专利标题 :
一种用于电镀设备的晶圆夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021461833.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-23
授权号 :
CN212865045U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
周基
申请人 :
福州五诚精密机械有限公司
申请人地址 :
福建省福州市仓山区盖山镇叶下工业区战备路6号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021461833.5
主分类号 :
C25D17/08
IPC分类号 :
C25D17/08  C25D7/12  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D17/00
电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件
C25D17/06
施镀制品的悬挂或支承装置
C25D17/08
挂具
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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