一种光纤引导式晶圆激光切割装置
授权
摘要
本新型涉及一种光纤引导式晶圆激光切割装置,包括承载底座、防护套、承载底板、激光切割器、光纤激光器、转台机构、调节块、聚光镜及驱动电路,承载底座下端面与防护套连接,光纤激光器与承载底座连接并环绕激光切割器轴线均布,光纤激光器的激光头分别通过转台机构与调节块前端面铰接,聚光镜嵌于防护套下端面,驱动电路嵌于防护套外表面,并分别与激光切割器、光纤激光器、转台机构及直线驱动滑轨电气连接。本新型可有效满足多种结构厚度及切割工艺硅晶圆切割作业的需要,并可在灵活调整切割作业面的切割能量值的同时,另可有效实现在切割作业面上同时进行多点切割作业,有效提高切割作业的工作效率。
基本信息
专利标题 :
一种光纤引导式晶圆激光切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021518798.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-28
授权号 :
CN212885757U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
巩铁建蔡正道陶为银
申请人 :
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 :
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号楼一楼A130-10号
代理机构 :
郑州银河专利代理有限公司
代理人 :
安申涛
优先权 :
CN202021518798.6
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38 B23K26/70 B23K26/402
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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