一种半导体硅片清洗釜
授权
摘要

本实用新型公开了一种半导体硅片清洗釜,包括支撑架和清洗釜,所述支撑架的上端安装有清洗釜,所述清洗釜为上端开口设计,所述清洗釜上端固定有对称的两个支杆,两个所述支杆上共同固定有支撑块,所述支撑块上安装有第一电机,所述第一电机位于清洗釜内安装有第一转动轴,所述第一转动轴上安装有对称的两个第一固定杆。本实用新型通过第一电机带动第一固定杆和第一搅拌叶,对第二网筒的内侧进行扰流,通过第二电机带动第二固定杆和第二搅拌叶对第一网筒外围底部和外围进行扰流,通过进行内外扰流产生涡旋,从而对放置在第一网筒和第二网筒之间的硅片两侧均可以得到反复冲洗,保证硅片的清洗质量和效率。

基本信息
专利标题 :
一种半导体硅片清洗釜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021655842.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-11
授权号 :
CN213162190U
授权日 :
2021-05-11
发明人 :
王宁
申请人 :
海南澎海电子科技有限公司
申请人地址 :
海南省海口市龙华区滨海大道117号海南滨海国际金融中心A座403-229
代理机构 :
北京国谦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
肖应国
优先权 :
CN202021655842.8
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10  B08B13/00  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2021-05-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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