一种LED刻蚀机托盘结构
授权
摘要
本实用新型涉及半导体工艺处理设备LED‑ICP刻蚀机技术领域，具体涉及一种LED刻蚀机托盘结构，包括托盘，托盘的顶部设有若干载片台，载片台上开设有载片槽，载片槽的底壁外侧开设有密封槽，位于密封槽内侧的载片槽上开设有若干间隔排列的同心圆凹槽，且若干凹槽之间通过连通槽相连通，连通槽均匀开设于凹槽的侧壁上；且若干凹槽的底壁上还包括均匀开设的冷却气孔，本实用新型提供了一种LED刻蚀机托盘结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了托盘结构不能较好地提供冷却气流对蓝宝石基片的底面均匀流通性，导致冷却气流与蓝宝石基片的底面温度分布均匀性较差，造成刻蚀蓝宝石基片的片内均匀性较差的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种LED刻蚀机托盘结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021724037.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-18
授权号 ：
CN212542347U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
朱慧刘超蒋青成任凯强范海玲
申请人 ：
无锡展硕科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区市会北路26-18
代理机构 ：
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨立秋
优先权 ：
CN202021724037.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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