一种晶圆片盒旋转升降设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆片盒旋转升降设备，包括安装块、电机保护壳和夹板，所述安装块下端设置有电机保护壳，电机保护壳内部设置有电机，且电机下端设置有轴杆，轴杆下端设置有连接板，且连接板下端连接有伸缩杆盒，伸缩杆盒右侧设置有伸缩控制器，且伸缩控制器上端设置有伸缩开关，伸缩杆盒内部设置有伸缩弹簧，伸缩杆下端通过连接螺栓连接有连接螺栓板，且连接螺栓板下端设置有夹板，分为旋转系统和升降系统两个部分，电机带动轴杆转动，轴杆下端通过连接板连接伸缩杆盒，轴杆转动可以带动伸缩杆盒转动，伸缩杆盒转动带动伸缩杆下端的夹板转动，为此设备的旋转系统，伸缩杆上端设置的伸缩弹簧可以通过伸缩控制器控制，为此设备的升降系统。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片盒旋转升降设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021861059.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN212834146U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
巩铁建陶为银
申请人 ：
河南通用智能装备有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
代理机构 ：
郑州中原专利事务所有限公司
代理人 ：
范小方
优先权 ：
CN202021861059.7
主分类号 ：
C30B33/10
IPC分类号 ：
C30B33/10 C23F1/08
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/08
侵蚀
C30B33/10
在溶液或熔体内
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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