一种包含多种校准类型的晶圆标准样板
授权
摘要
本申请实施例提供一种包含多种校准类型的晶圆标准样板，属于微纳米级精密测量技术领域。包括：基底，所述基底上设置有指引区域与校准区域；所述指引区域包括：指引图案与至少两个凹坑；所述校准区域包括：与每个凹坑配套的标准样板，所述标准样板安装于所述凹坑上；所述指引图案设置于所述凹坑周围，用于在测量仪器对所述标准样板进行定位时，对所述测量仪器的定位起到指示作用。使用本申请提供的包含多种校准类型的晶圆标准样板，可以在保证校准精度的同时，提高校准效率。
基本信息
专利标题 ：
一种包含多种校准类型的晶圆标准样板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022169212.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN213750299U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
蒋庄德张雅馨王琛英景蔚萱林启敬张易军张亮亮高崐李磊毛琦王松牛忠楠
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
苟冬梅
优先权 ：
CN202022169212.6
主分类号 ：
G01R35/00
IPC分类号 ：
G01R35/00 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R35/00
包含在本小类其他组中的仪器的测试或校准
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
