本实用新型公开了一种用于集成电路加工用测试装置，包括工作台和检测台体，工作台的顶部固定安装有检测台体，检测台体和工作台之间呈凸型结构设置，检测台体相对两侧的工作台上设有夹持件，检测台体一侧的工作台上设有通风口，工作台远离通风口的一侧设有散热口，散热口内固定安装有散热风扇，散热口和通风口之间的检测台体内部设有散热组件，散热组件的顶部与检测台体的底部接触，工作台的顶部固定安装有防护罩，防护罩的一侧呈开口设置；本实用新型结构紧凑，促进工作台内空气流通，散热组件改善测试装置散热性能，降低温度对集成电路测试精度影响，夹持件对集成电路下压夹持固定，夹持简单、易行，提高测试设备抗干扰性能。