一种晶圆光刻设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆光刻设备，其结构包括，底座、玻璃窗、工作箱、开关轴、成品箱、传感器、配电箱、系统储存处、开关按钮、控制键、显示屏，底座的上端设有工作箱，玻璃窗设于工作箱的中间位置，开关轴设于工作箱的左右两侧，成品箱设于工作箱的下方，传感器与系统储存处相连接，配电箱设于系统储存处的左侧并与之相连接并进行电力配合；本实用新型通过工作台相连接的控制装置能够将其中的伸缩杆所相连接的隔断板进行升起通过进行固定，使晶圆在放入工作台的时候，隔断板能够将四周的端点进行封闭使其在加工的过程中残渣不会飞往另一边和成品箱内，隔断板具有粘贴残渣的效果使残渣能够被隔断板进行收集。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆光刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022304794.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN214151372U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
徐江民
申请人 ：
济南紫源电子有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市章丘市明水绣源路中段(吕家村北)
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022304794.4
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
