一种磷化铟多晶装料辅助工具
授权
摘要
本实用新型涉及单晶生长技术领域,公开了一种磷化铟多晶装料辅助工具,包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块,挡块包括小径部和大径部,小径部的直径小于膜片区的最小尺寸,大径部的直径大于膜片区的最大尺寸,大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。本实用新型能够在进行装料过程中,膜片粘上红磷,膜片测压不准确,造成裂管或炸管的问题得到解决。
基本信息
专利标题 :
一种磷化铟多晶装料辅助工具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022522440.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-04
授权号 :
CN214193523U
授权日 :
2021-09-14
发明人 :
李勇曾志勇
申请人 :
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 :
重庆市万州区万州经开区高峰园B02
代理机构 :
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 :
张晨
优先权 :
CN202022522440.7
主分类号 :
C30B29/40
IPC分类号 :
C30B29/40 C30B11/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2021-09-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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