信息处理装置以及基板处理方法
公开
摘要
本发明涉及信息处理装置以及基板处理方法。接收部接收包含配方的处理的指示。计算部根据在接收部中接收的配方计算标识符。判断部判断在存储部中是否存储有与计算出的标识符相同的标识符。在判断部中判断为在存储部中存储有相同的标识符的情况下，控制部使用与该标识符建立对应的运用数据项和在接收部中接收的配方来控制基板处理装置。
基本信息
专利标题 ：
信息处理装置以及基板处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270489A
申请号 ：
CN202080058682.5
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-08-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
荻野宏视齐藤雅宪金谷德明鹤间康洋
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
宋魏魏
优先权 ：
CN202080058682.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 G05B19/418
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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