光刻用工艺液体组合物及利用其的图案形成方法
实质审查的生效
摘要
本申请发明涉及一种在光致抗蚀剂图案工艺中改善光致抗蚀剂图案的裂痕缺陷的工艺液体组合物及利用其的图案形成方法。其中，所述光致抗蚀剂图案具有对光致抗蚀剂表面的水的接触角为75°以上的疏水性。更详细地，本申请发明涉及一种工艺液体组合物，所述工艺液体组合物由0.00001至0.1重量％的氟系表面活性剂，0.00001至1.0重量％的选自由三元醇衍生物、四元醇衍生物或它们的混合物所组成的组的物质，及余量的水组成，且表面张力为45mN/m以下，接触角为65°以下。
基本信息
专利标题 ：
光刻用工艺液体组合物及利用其的图案形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114450640A
申请号 ：
CN202080068084.6
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-06-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李秀珍金起洪李昇勋李昇炫
申请人 ：
荣昌化学制品株式会社
申请人地址 ：
韩国庆尚北道
代理机构 ：
北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郑青松
优先权 ：
CN202080068084.6
主分类号 ：
G03F7/40
IPC分类号 ：
G03F7/40
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/40
去除影像之后的处理，例如，烘干
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/40
申请日 : 20200624
申请日 : 20200624
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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