可转换等离子体源及方法
公开
摘要
一种等离子体源包括：通过具有恒定宽度的介电势垒和间隙隔开的第一中空电极和第二中空电极；等离子体源被配置为以第一配置和第二配置中任一者来选择性地产生等离子体；其中，i)在第一配置中，等离子体形成气体在间隙中流动，而非等离子体形成气体在第一中空电极内流动；以及ii)在第二配置中，等离子体形成气体在第一中空电极内流动，以及非等离子体形成气体在间隙内流动。方法包括选择具有不同击穿电压的至少两种气体，在施加功率下，将第一气体注入到与第二中空电极隔开恒定宽度的气隙的第一电极中，以及将第二气体注入到气隙中。
基本信息
专利标题 ：
可转换等离子体源及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114503788A
申请号 ：
CN202080068612.8
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2020-08-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J-S·布瓦韦尔P·王V·莱韦耶
申请人 ：
皇家学术促进会麦吉尔大学;新世纪等离子体有限公司
申请人地址 ：
加拿大魁北克省
代理机构 ：
北京市中咨律师事务所
代理人 ：
林莹莹
优先权 ：
CN202080068612.8
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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