用于制造OLED的掩模以及OLED制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及OLED掩模及OLED制造方法。本发明的用于制造OLED的掩模，包括：掩模外壳，其至少一侧开放，且提供用于布置沉积源供给部的空间；以及掩模片，其设置于掩模外壳开放的一侧，且形成有多个掩模图案。
基本信息
专利标题 ：
用于制造OLED的掩模以及OLED制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114555854A
申请号 ：
CN202080073288.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴振源李永浩
申请人 ：
韩商则舒穆公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
姜虎
优先权 ：
CN202080073288.9
主分类号 ：
C23C14/04
IPC分类号 ：
C23C14/04 C23C16/04 H01L51/00 H01L51/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/04
局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/04
申请日 : 20201029
申请日 : 20201029
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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