半导体装置及半导体存储装置
实质审查的生效
摘要

实施方式提供一种耐热性高的半导体装置及半导体存储装置。实施方式的半导体装置包括:氧化物半导体层;栅极电极;栅极绝缘层,设置在氧化物半导体层与栅极电极之间;第1电极,电连接在氧化物半导体层的第1位置;第2电极,电连接在氧化物半导体层的相对于第1位置位于第1方向的第2位置;第1导电层,设置在氧化物半导体层与第1电极之间、及氧化物半导体层与第2电极之间的至少任一位置,且含有氧(O)及氮(N)中的至少任一元素、第1金属元素、以及与第1金属元素不同的第1元素;以及第2导电层,设置在氧化物半导体层与第1导电层之间,且含有与第1金属元素及第1元素不同的第2元素、及氧(O);栅极电极的隔着栅极绝缘层而与氧化物半导体层对向的部分的第1方向的位置位于第1位置与第2位置之间。

基本信息
专利标题 :
半导体装置及半导体存储装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114267728A
申请号 :
CN202110220032.2
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-02-26
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
片冈淳司上田知正郑述述齐藤信美池田圭司
申请人 :
铠侠股份有限公司
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 :
杨林勳
优先权 :
CN202110220032.2
主分类号 :
H01L29/417
IPC分类号 :
H01L29/417  H01L29/786  H01L27/108  
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/417
申请日 : 20210226
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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