一种考虑非线性的荧光染色薄膜厚度测量标定方法
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摘要

本发明提供了一种考虑非线性的荧光染色薄膜厚度测量标定方法,能够有效提高荧光染色薄膜厚度的测量精度以及量程。本发明考虑激发诱导荧光成像系统中荧光强度与荧光染色薄膜厚度之间的非线性。通过使用不同标准厚度薄膜的荧光照片,基于多项式建立每个像素单元的薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,然后构建标定系数方程组并求解,得到标定系数表。拍摄待测薄膜的荧光照片,基于标定系数表以及薄膜厚度与荧光强度之间的关系式,计算得到每一像素单元对应的薄膜厚度。可显著减小由荧光强度与荧光染色薄膜厚度之间的非线性所带来的测量误差,能有效提高荧光染色薄膜厚度的测量精度以及量程。

基本信息
专利标题 :
一种考虑非线性的荧光染色薄膜厚度测量标定方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113048898A
申请号 :
CN202110431140.4
公开(公告)日 :
2021-06-29
申请日 :
2021-04-21
授权号 :
CN113048898B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
王文中陈虹百梁鹤赵自强
申请人 :
北京理工大学
申请人地址 :
北京市海淀区中关村南大街5号
代理机构 :
北京理工大学专利中心
代理人 :
代丽
优先权 :
CN202110431140.4
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-07-16 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20210421
2021-06-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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